6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia, Proceedings

Bibliographic Details
Corporate Authors:	Tomsk Polytechnic University Nuclear Physics Institute (570), Sibirian Branch of the Russian Academy of Sciences Institute of High-Current Electronics, International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows
Other Authors:	Mesyats G. A. Gennady Andreyevich (340), Korovin S. D., Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Summary:	In memory of Academician of Russian Academy of Sciences Sergey P. Bugaev
Language:	English Russian
Published:	Tomsk, Kursiv, 2002
Subjects:	труды учёных ТПУ твердые тела модификация покрытия нанесение заряженные частицы плазменные источники магнетронное распыление вакуумная обработка микросекундные электронные пучки лучевые технологии плазменные нанотехнологии конференции английский язык
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599335

Similar Items