Magnetron system for plasma coating deposition

Magnetron system for plasma coating deposition

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958- Т. 50, № 9 (Приложение) : 10th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications", 17-20 September 2007, Tomsk.— 2007.— P. 95-97
Weitere Verfasser:	Asainov O. Kh., Bainov D. D. Dashi Dambaevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Mironovich V. V., Mikhailov M. N., Khalimanovich V. I., Harlamov V. A., Yudakov S. V. Sergey Vladimirovich
Zusammenfassung:	В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Veröffentlicht:	2007
Schlagworte:	труды учёных ТПУ
Format:	Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=598918

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