Magnetron system for plasma coating deposition

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958- Т. 50, № 9 (Приложение) : 10th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications", 17-20 September 2007, Tomsk.— 2007.— P. 95-97
Other Authors:	Asainov O. Kh., Bainov D. D. Dashi Dambaevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Mironovich V. V., Mikhailov M. N., Khalimanovich V. I., Harlamov V. A., Yudakov S. V. Sergey Vladimirovich
Summary:	В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Published:	2007
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=598918

Similar Items