Magnetron system for plasma coating deposition; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 9 (Приложение) : 10th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications", 17-20 September 2007, Tomsk

Библиографические подробности
Источник:Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958-
Т. 50, № 9 (Приложение) : 10th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications", 17-20 September 2007, Tomsk.— 2007.— P. 95-97
Другие авторы: Asainov O. Kh., Bainov D. D. Dashi Dambaevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Mironovich V. V., Mikhailov M. N., Khalimanovich V. I., Harlamov V. A., Yudakov S. V. Sergey Vladimirovich
Примечания:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Язык:английский
Опубликовано: 2007
Предметы:
Формат: Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=598918

MARC

LEADER 00000naa0a2200000 4500
001 598918
005 20250407092925.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\22724 
035 |a RU\TPU\tpu\22723 
090 |a 598918 
100 |a 20130218d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
200 1 |a Magnetron system for plasma coating deposition  |f O. Kh. Asainov [et al.] 
333 |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует 
461 |t Известия вузов. Физика  |f Томский государственный университет (ТГУ)  |d 1958- 
463 |t Т. 50, № 9 (Приложение) : 10th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications", 17-20 September 2007, Tomsk  |v P. 95-97  |d 2007 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
701 1 |a Asainov  |b O. Kh. 
701 1 |a Bainov  |b D. D.  |c Specialist in the field of plasma technologies  |c Researcher of the Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences  |f 1978-  |g Dashi Dambaevich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34161  |9 17701 
701 1 |a Krivobokov  |b V. P.  |c Russian physicist  |c professor of Tomsk Polytechnic University (TPU), Doctor of Physical and Mathematical Sciences (DSc)  |f 1948-  |g Valery Pavlovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30416  |9 14757 
701 1 |a Mironovich  |b V. V. 
701 1 |a Mikhailov  |b M. N. 
701 1 |a Khalimanovich  |b V. I. 
701 1 |a Harlamov  |b V. A. 
701 1 |a Yudakov  |b S. V.  |c Specialist in the field of automatic control  |c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physico-mathematical sciences  |f 1979-  |g Sergey Vladimirovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33714  |9 17345 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20130218 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150413  |g RCR 
942 |c CR