Исследования изменений изотопного состава меди при ионной имплантации в никель
| Parent link: | Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2001): материалы 15 Международной конференции, Звенигород, 27-31 авг., 2001 г..— , 2001 Т. 2.— 2001.— С. 178-183 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Приведены новые эксперим. результаты по изменению изотопного состава меди, имплантированной в поликристаллический Ni со средним размером зерна ~20 мкм. Дозы имплантации 2×1016 и 2×1017 см-2. Послойный элементный анализ имплантированных медью образцов Ni проводился методом МСВИ. Анализ профилей распределения изотопов Cu65 и Cu63 по глубине образца Ni и суммарного профиля Cu65+Cu63 после имплантации дозой 2×1017 ион/см2 в вакууме 5×10-5 Тор показал, что характер распределения изотопов различен: спадающая кривая изотопа 65Cu, и нарастающая - изотопа 63Cu, т. е. в поверхн. слое до ~100 нм происходит накопление изотопа 65Cu. И только после выхода на максимум изотопа 63Cu начинается выравнивание изотопного состава, который приближается к природному соотношению на глубину 250 нм. Характер послойного изменения изотопного состава с увеличением дозы не изменяется, но для более высокой дозы изменения изотопного состава распространяются на большую глубину. Установлено, что максим. нарушения изотопного состава происходят в области максим. потерь энергии имплантированных ионов и накопления концентрации имплантированной меди. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2001
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=598591 |