Осаждение содержащих фуллерены углеродных покрытий с помощью мощных ионных пучков; Фундаментальные проблемы современного материаловедения; Т. 4, № 2

Осаждение содержащих фуллерены углеродных покрытий с помощью мощных ионных пучков

Detalles Bibliográficos
Parent link:Фундаментальные проблемы современного материаловедения.— , 2007
Т. 4, № 2.— 2007.— С. 36-40
Autor Principal: Струц В. К.
Outros autores: Петров А. В. Александр Васильевич, Усов Ю. П. Юрий Петрович
Summary:Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Определено относительное количество в покрытии мелкокристаллической фазы фуллеренов C[60], C[70] алмазоподобного углерода (DLC), а также аморфной фазы углерода и относительное количество DLC в ней. Показано, что относительное количество аморфной фазы углерода, соотношение между относительным количеством фуллеренов C[60]:C[70], а также количество DLC в кристаллической и аморфной фазе существенно зависят от условий осаждения покрытий: плотности мощности энергии ионного пучка, падающего на графитовую мишень, которая определяет плотность и температуру абляционной плазмы, темпа осаждения покрытия, т. е. толщиной пленки, за один импульс ионного тока. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к подложке, коэффициент трения и шероховатость покрытий.
В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Idioma:ruso
Publicado: 2007
Subjects:
труды учёных ТПУ
Formato: Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=597214

Títulos similares

Títulos similares