Осаждение содержащих фуллерены углеродных покрытий с помощью мощных ионных пучков
| Parent link: | Фундаментальные проблемы современного материаловедения.— , 2007 Т. 4, № 2.— 2007.— С. 36-40 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Определено относительное количество в покрытии мелкокристаллической фазы фуллеренов C[60], C[70] алмазоподобного углерода (DLC), а также аморфной фазы углерода и относительное количество DLC в ней. Показано, что относительное количество аморфной фазы углерода, соотношение между относительным количеством фуллеренов C[60]:C[70], а также количество DLC в кристаллической и аморфной фазе существенно зависят от условий осаждения покрытий: плотности мощности энергии ионного пучка, падающего на графитовую мишень, которая определяет плотность и температуру абляционной плазмы, темпа осаждения покрытия, т. е. толщиной пленки, за один импульс ионного тока. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к подложке, коэффициент трения и шероховатость покрытий. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=597214 |