Осаждение содержащих фуллерены углеродных покрытий с помощью мощных ионных пучков; Фундаментальные проблемы современного материаловедения; Т. 4, № 2
| Parent link: | Фундаментальные проблемы современного материаловедения.— , 2007 Т. 4, № 2.— 2007.— С. 36-40 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Summary: | Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Определено относительное количество в покрытии мелкокристаллической фазы фуллеренов C[60], C[70] алмазоподобного углерода (DLC), а также аморфной фазы углерода и относительное количество DLC в ней. Показано, что относительное количество аморфной фазы углерода, соотношение между относительным количеством фуллеренов C[60]:C[70], а также количество DLC в кристаллической и аморфной фазе существенно зависят от условий осаждения покрытий: плотности мощности энергии ионного пучка, падающего на графитовую мишень, которая определяет плотность и температуру абляционной плазмы, темпа осаждения покрытия, т. е. толщиной пленки, за один импульс ионного тока. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к подложке, коэффициент трения и шероховатость покрытий. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2007
|
| Fag: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=597214 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 597214 | ||
| 005 | 20250203161405.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\20383 | ||
| 090 | |a 597214 | ||
| 100 | |a 20111213d2007 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Осаждение содержащих фуллерены углеродных покрытий с помощью мощных ионных пучков |f В. К. Струц, А. В. Петров, Ю. П. Усов | |
| 330 | |a Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Определено относительное количество в покрытии мелкокристаллической фазы фуллеренов C[60], C[70] алмазоподобного углерода (DLC), а также аморфной фазы углерода и относительное количество DLC в ней. Показано, что относительное количество аморфной фазы углерода, соотношение между относительным количеством фуллеренов C[60]:C[70], а также количество DLC в кристаллической и аморфной фазе существенно зависят от условий осаждения покрытий: плотности мощности энергии ионного пучка, падающего на графитовую мишень, которая определяет плотность и температуру абляционной плазмы, темпа осаждения покрытия, т. е. толщиной пленки, за один импульс ионного тока. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к подложке, коэффициент трения и шероховатость покрытий. | ||
| 333 | |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует | ||
| 461 | |t Фундаментальные проблемы современного материаловедения |d 2007 | ||
| 463 | |t Т. 4, № 2 |v С. 36-40 |d 2007 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 700 | 1 | |a Струц |b В. К. | |
| 701 | 1 | |a Петров |b А. В. |c специалист в области электротехники |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1939- |g Александр Васильевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27884 |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Усов |b Ю. П. |c российский ученый, электротехник |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1937- |g Юрий Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875 |4 070 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20111213 | |
| 942 | |c CR | ||