New broad beam gas ion source for industrial application; Journal of Vacuum Science and Technology A; Vol. 14, № 3
| Parent link: | Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 14, № 3.— 1996.— P. 1050-1055 |
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| Weitere Verfasser: | , , , , , , |
| Zusammenfassung: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Schlagworte: | |
| Format: | Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=596679 |
| Zusammenfassung: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
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