New broad beam gas ion source for industrial application; Journal of Vacuum Science and Technology A; Vol. 14, № 3
| Parent link: | Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 14, № 3.— 1996.— P. 1050-1055 |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , , , , , , |
| الملخص: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| اللغة: | الإنجليزية |
| منشور في: |
1996
|
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=596679 |
| الملخص: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
|---|