Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Татаренко Н. И.
Andere auteurs:	Кравченко В. Ф.
Samenvatting:	В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Инженерно-технические науки
Gepubliceerd in:	Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2006
Onderwerpen:	автоэлектронные микроприборы автоэлектронные микротриоды автоэлектронные приборы автоэлектронный микроприбор автоэмиссионная наноструктура автоэмиссионные катоды автоэмиссионные матрицы автоэмиссионные наноструктуры алгоритм анализа и расчета аэмп алюминий анодный оксид аэмп вакуумная микроэлектроника вакуумная наноэлектроника вакуумная электроника вакуумные аэмп вакуумные микроприборы вах вентильный вентильный металл диодная диодные структуры изготовление аэмп интегральная технология интегральная технология создания аэмп катодно катодно-сеточные элементы матрица металл микрогеометрия микроприборы микроскопия микроэлектроника микроэлектронные приборы моделирование наноструктурных аэмп наноструктурные аэмп наноструктурные микроприборы наноструктуры нанотехнологии наноэлектроника наноэмиттер наноэмиттеры оже-электронная оксидно-титановые матрицы пленка расчет характеристик аэмп сеточный спектрометрия стехиометрия структура тонкая тонкопленочная тонкопленочные микроприборы тонкопленочные структуры вентильных металлов триодная триодные структуры физика электроника электронная электронная эмиссия элемент
Online toegang:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=59428 https://e.lanbook.com/img/cover/book/59428.jpg
Formaat:	Elektronisch Boek