Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=59428 https://e.lanbook.com/img/cover/book/59428.jpg |
| Format: | Electronic Book |
