Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом; Известия вузов. Физика; Т. 37, № 3

Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом; Известия вузов. Физика; Т. 37, № 3

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Российская Федерация, Министерство образования и науки ; ФГБОУ ВПО "Национальный исследовательский Томский государственный университет".— , 1958-.— 0021-3411
Т. 37, № 3.— 1994.— С. 115-120
Main Author: Борисов Д. П. Дмитрий Петрович
Other Authors: Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Щанин П. М.
Summary:В результате зондовых изменений установлено, что плазма, создаваемая дуговым разрядом с накаленным катодом, имеет две группы электронов с температурой ~4 и 10 эВ и концентрацией 10 10 - 10 11См-3 с равномерным распределением в объеме 0,2 м-3. Приведены зависимости напряжения горения разряда от давления и тока накала катода, низкотемпературные режимы нанесения покрытий из TiN на металлы иэиэлектрики после обраблтки изделий плазмой, рассмтрена конструкция разрядной системы.
Language:Russian
Published: 1994
Subjects:
труды учёных ТПУ
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=563685

Similar Items

Similar Items