Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Российская Федерация, Министерство образования и науки ; ФГБОУ ВПО "Национальный исследовательский Томский государственный университет".— , 1958-.— 0021-3411 Т. 37, № 3.— 1994.— С. 115-120 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , |
| Sumari: | В результате зондовых изменений установлено, что плазма, создаваемая дуговым разрядом с накаленным катодом, имеет две группы электронов с температурой ~4 и 10 эВ и концентрацией 10 10 - 10 11См-3 с равномерным распределением в объеме 0,2 м-3. Приведены зависимости напряжения горения разряда от давления и тока накала катода, низкотемпературные режимы нанесения покрытий из TiN на металлы иэиэлектрики после обраблтки изделий плазмой, рассмтрена конструкция разрядной системы. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
1994
|
| Matèries: | |
| Format: | Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=563685 |