|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
563685 |
| 005 |
20231101123518.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\259302
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\259082
|
| 090 |
|
|
|a 563685
|
| 100 |
|
|
|a 20160614a1994 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом
|f Д. П. Борисов, Н. Н. Коваль, П. М. Щанин
|
| 330 |
|
|
|a В результате зондовых изменений установлено, что плазма, создаваемая дуговым разрядом с накаленным катодом, имеет две группы электронов с температурой ~4 и 10 эВ и концентрацией 10 10 - 10 11См-3 с равномерным распределением в объеме 0,2 м-3. Приведены зависимости напряжения горения разряда от давления и тока накала катода, низкотемпературные режимы нанесения покрытий из TiN на металлы иэиэлектрики после обраблтки изделий плазмой, рассмтрена конструкция разрядной системы.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Российская Федерация, Министерство образования и науки ; ФГБОУ ВПО "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77110
|t Т. 37, № 3
|v С. 115-120
|d 1994
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Борисов
|b Д. П.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1966-
|g Дмитрий Петрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31362
|
| 701 |
|
1 |
|a Коваль
|b Н. Н.
|c специалист в области электроники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Николай Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831
|
| 701 |
|
1 |
|a Щанин
|b П. М.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101024
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160614
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
