Влияние низкоэнергетичного ионного облучения на микроструктуру покрытий нитрида титана
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования/ Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН.— , 1996-.— 0207-3528 № 10.— 1998.— С. 92 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Published: |
1998
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=563554 |