Генерация газоразрядной плазмы в дуговом источнике с холодным полым катодом; Приборы и техника эксперимента; № 3

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Parent link:Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук (РАН).— , 1956-.— 0032-8162
№ 3.— 2005.— С. 62-66
Κύριος συγγραφέας: Щанин П. М.
Άλλοι συγγραφείς: Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Ахмадеев Ю. Х.
Περίληψη:Представлены результаты исследования дугового источника плазмы с холодным полым катодом, генерирующего при токах разряда до 150 А, напряжениях горения дуги 30-40 В и низком давлении (0.1-1 Па) плазму концентрацией ~10 10 см -3 в объеме ~0.2 м 3. За счет перемещения катодного пятна дуги внутри полого катода в скрещенных электрическом и магнитном полях и специальной конструкции катода увеличивается срок службы катода и практически исключается выход распыляемого материала катода в рабочую вакуумную камеру.
Γλώσσα:Ρωσικά
Έκδοση: 2005
Θέματα:
Μορφή: Κεφάλαιο βιβλίου
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562957

Παρόμοια τεκμήρια