Генерация газоразрядной плазмы в дуговом источнике с холодным полым катодом; Приборы и техника эксперимента; № 3

Генерация газоразрядной плазмы в дуговом источнике с холодным полым катодом; Приборы и техника эксперимента; № 3

Bibliographische Detailangaben
Parent link:Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук (РАН).— , 1956-.— 0032-8162
№ 3.— 2005.— С. 62-66
1. Verfasser: Щанин П. М.
Weitere Verfasser: Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Ахмадеев Ю. Х.
Zusammenfassung:Представлены результаты исследования дугового источника плазмы с холодным полым катодом, генерирующего при токах разряда до 150 А, напряжениях горения дуги 30-40 В и низком давлении (0.1-1 Па) плазму концентрацией ~10 10 см -3 в объеме ~0.2 м 3. За счет перемещения катодного пятна дуги внутри полого катода в скрещенных электрическом и магнитном полях и специальной конструкции катода увеличивается срок службы катода и практически исключается выход распыляемого материала катода в рабочую вакуумную камеру.
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: 2005
Schlagworte:
труды учёных ТПУ
Format: Buchkapitel
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562957

Ähnliche Einträge

Ähnliche Einträge