Генерация газоразрядной плазмы в дуговом источнике с холодным полым катодом
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук (РАН).— , 1956-.— 0032-8162 № 3.— 2005.— С. 62-66 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , |
| Sumari: | Представлены результаты исследования дугового источника плазмы с холодным полым катодом, генерирующего при токах разряда до 150 А, напряжениях горения дуги 30-40 В и низком давлении (0.1-1 Па) плазму концентрацией ~10 10 см -3 в объеме ~0.2 м 3. За счет перемещения катодного пятна дуги внутри полого катода в скрещенных электрическом и магнитном полях и специальной конструкции катода увеличивается срок службы катода и практически исключается выход распыляемого материала катода в рабочую вакуумную камеру. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2005
|
| Matèries: | |
| Format: | Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562957 |