|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
562957 |
| 005 |
20231101123345.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\258413
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\258412
|
| 090 |
|
|
|a 562957
|
| 100 |
|
|
|a 20160527a2005 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Генерация газоразрядной плазмы в дуговом источнике с холодным полым катодом
|f П. М. Щанин, Н. Н. Коваль, Ю. Х. Ахмадеев
|
| 330 |
|
|
|a Представлены результаты исследования дугового источника плазмы с холодным полым катодом, генерирующего при токах разряда до 150 А, напряжениях горения дуги 30-40 В и низком давлении (0.1-1 Па) плазму концентрацией ~10 10 см -3 в объеме ~0.2 м 3. За счет перемещения катодного пятна дуги внутри полого катода в скрещенных электрическом и магнитном полях и специальной конструкции катода увеличивается срок службы катода и практически исключается выход распыляемого материала катода в рабочую вакуумную камеру.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук (РАН)
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86611
|t № 3
|v С. 62-66
|d 2005
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Щанин
|b П. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Коваль
|b Н. Н.
|c специалист в области электроники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Николай Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831
|
| 701 |
|
1 |
|a Ахмадеев
|b Ю. Х.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101024
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160527
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
