Генератор плазмы на основе несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом большого объема
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук (РАН).— , 1956-.— 0032-8162 № 1.— 2011.— С. 151-156 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Представлены результаты исследования несамостоятельного тлеющего разряда в электродной системе с полым катодом объемом 0.25 м3. Зажигание и поддержание горения сильноточного (до 35 А) несамостоятельного тлеющего разряда при низких (0.31 Па) давлениях осуществляется вспомогательным дуговым разрядом с холодным полым катодом. При увеличении тока несамостоятельного тлеющего разряда от 2 до 35 А напряжение его горения изменяется от 40 до 300 В, что значительно ниже напряжения горения самостоятельного тлеющего разряда в той же электродной системе. При токе разряда 30 А концентрация электронов в центре полого катода составляет ne 1010 1011 cм-3, а температура электронов Те 2 эВ. Рассмотренный разряд может быть использован в системах модификации материалов и изделий. |
| Published: |
2011
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562684 |