Технология приборов оптической электроники и фотоники

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Орликов Л. Н.
Sammanfattning:	В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники» Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки
Publicerad:	Москва, ТУСУР, 2012
Ämnen:	подготовка технологического процесса материалы для приборов оптической и квантовой электроники технологический процесс технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники методы оценки параметров технологичности языки программирования технологических процессов язык релейноконтактных символов язык булевых уравнений язык управления типа каут язык ld технология получения высокого вакуума вакуумные системы и установки типы вакуумных установок расчет вакуумных систем согласование откачных средств измерение парциальных давлений алгоритм включения и выключения вакуумных установок практические рекомендации по поиску негерметичности вакуумных систем межфазные взаимодействия межфазное равновесие процессов теплота энтальпия энтропия свободная энергия фазовая диаграмма теория межфазных взаимодействий технология подготовки поверхности оптических материалов очистка материалов вакуумная гигиена общая схема очистки материалов электрофизические методы очистки контроль качества очистки ионное травление материалов формирование нанослоев физикохимические процессы получения наноматериалов назначение и типы пленок методы получения пленок термовакуумное испарение пленок процессы термического испарения материалов электроннолучевой метод формирования пленок магнетронное формирование пленок электродуговое формирование покрытий формирование пленок с помощью ионных источников методы измерения параметров пленок резистивный метод измерения толщины пленок емкостной метод измерения толщины пленок оптический метод измерения толщины пленок ионизационный метод измерения толщины пленок экспресс методы сравнительного анализа толщины пленок процесс эпитаксиального выращивания понятие эпитаксии виды эпитаксий теория формирования эпитаксиальной пленки теория формирования пленки фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных пленок методы анализа эпитаксиальных структур растровая электронная микроскопия технология изготовления приборов оптической электроники и фотоники технология приборов квантовой электроники технология одноэлектронных квантовых приборов устройства памяти технология формирования светоизлучающих структур
Länkar:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg
Materialtyp:	Elektronisk Bok