Технология приборов оптической электроники и фотоники
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники» Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, ТУСУР, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg |
| Format: | Electronic Book |
