Технология приборов оптической электроники и фотоники
| Autore principale: | |
|---|---|
| Riassunto: | В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники» Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Pubblicazione: |
Москва, ТУСУР, 2012
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg |
| Natura: | Elettronico Libro |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5430 | ||
| 100 | |a 20250516d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Технология приборов оптической электроники и фотоники |b Электронный ресурс |f Орликов Л. Н. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c ТУСУР |d 2012 | ||
| 215 | |a 87 с. | ||
| 330 | |a В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники» | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a подготовка технологического процесса | |
| 610 | 0 | |a материалы для приборов оптической и квантовой электроники | |
| 610 | 0 | |a технологический процесс | |
| 610 | 0 | |a технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники | |
| 610 | 0 | |a методы оценки параметров технологичности | |
| 610 | 0 | |a языки программирования технологических процессов | |
| 610 | 0 | |a язык релейноконтактных символов | |
| 610 | 0 | |a язык булевых уравнений | |
| 610 | 0 | |a язык управления типа каут | |
| 610 | 0 | |a язык ld | |
| 610 | 0 | |a технология получения высокого вакуума | |
| 610 | 0 | |a вакуумные системы и установки | |
| 610 | 0 | |a типы вакуумных установок | |
| 610 | 0 | |a расчет вакуумных систем | |
| 610 | 0 | |a согласование откачных средств | |
| 610 | 0 | |a измерение парциальных давлений | |
| 610 | 0 | |a алгоритм включения и выключения вакуумных установок | |
| 610 | 0 | |a практические рекомендации по поиску негерметичности вакуумных систем | |
| 610 | 0 | |a межфазные взаимодействия | |
| 610 | 0 | |a межфазное равновесие процессов | |
| 610 | 0 | |a теплота | |
| 610 | 0 | |a энтальпия | |
| 610 | 0 | |a энтропия | |
| 610 | 0 | |a свободная энергия | |
| 610 | 0 | |a фазовая диаграмма | |
| 610 | 0 | |a теория межфазных взаимодействий | |
| 610 | 0 | |a технология подготовки поверхности оптических материалов | |
| 610 | 0 | |a очистка материалов | |
| 610 | 0 | |a вакуумная гигиена | |
| 610 | 0 | |a общая схема очистки материалов | |
| 610 | 0 | |a электрофизические методы очистки | |
| 610 | 0 | |a контроль качества очистки | |
| 610 | 0 | |a ионное травление материалов | |
| 610 | 0 | |a формирование нанослоев | |
| 610 | 0 | |a физикохимические процессы получения наноматериалов | |
| 610 | 0 | |a назначение и типы пленок | |
| 610 | 0 | |a методы получения пленок | |
| 610 | 0 | |a термовакуумное испарение пленок | |
| 610 | 0 | |a процессы термического испарения материалов | |
| 610 | 0 | |a электроннолучевой метод формирования пленок | |
| 610 | 0 | |a магнетронное формирование пленок | |
| 610 | 0 | |a электродуговое формирование покрытий | |
| 610 | 0 | |a формирование пленок с помощью ионных источников | |
| 610 | 0 | |a методы измерения параметров пленок | |
| 610 | 0 | |a резистивный метод измерения толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a емкостной метод измерения толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a оптический метод измерения толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a ионизационный метод измерения толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a экспресс методы сравнительного анализа толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a процесс эпитаксиального выращивания | |
| 610 | 0 | |a понятие эпитаксии | |
| 610 | 0 | |a виды эпитаксий | |
| 610 | 0 | |a теория формирования эпитаксиальной пленки | |
| 610 | 0 | |a теория формирования пленки | |
| 610 | 0 | |a фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных пленок | |
| 610 | 0 | |a методы анализа эпитаксиальных структур | |
| 610 | 0 | |a растровая электронная микроскопия | |
| 610 | 0 | |a технология изготовления приборов оптической электроники и фотоники | |
| 610 | 0 | |a технология приборов квантовой электроники | |
| 610 | 0 | |a технология одноэлектронных квантовых приборов | |
| 610 | 0 | |a устройства памяти | |
| 610 | 0 | |a технология формирования светоизлучающих структур | |
| 700 | 1 | |a Орликов |b Л. Н. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=5430 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/5430.jpg | ||