Расчет тепловых процессоров при микрорельефной обработке материалов с фокусированным сканирующим ионным пучком

Detalles Bibliográficos
Parent link:IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск: Тезисы докладов. С. 161-164..— , 1996
Autor Principal: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Outros autores: Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Пащенко О. В. Олег Валентинович
Publicado: 1996
Subjects:
Formato: Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53819

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 53819
005 20240212095502.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\56416 
035 |a RU\TPU\book\56412 
090 |a 53819 
100 |a 20030624d1996 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Расчет тепловых процессоров при микрорельефной обработке материалов с фокусированным сканирующим ионным пучком  |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, О. В. Пащенко 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\2952  |t IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск  |o Тезисы докладов  |v С. 161-164.  |d 1996  |p 552 с. 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
675 |a 539.121.8(063)  |v 3 
675 |a 62(063)  |v 3 
700 1 |a Блейхер  |b Г. А.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1961-  |g Галина Алексеевна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948  |9 13681 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Пащенко  |b О. В.  |c физик  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1962-  |g Олег Валентинович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29784  |9 14261 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20030624  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160212  |g PSBO 
942 |c BK