Расчет тепловых процессоров при микрорельефной обработке материалов с фокусированным сканирующим ионным пучком
| Parent link: | IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск: Тезисы докладов. С. 161-164..— , 1996 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
1996
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53819 |