Технологический источник "Радуга-5" для ионной имплантации, плазменного осаждения покрытий и комбинированной ионно-плазменной обработки материалов

Bibliographic Details
Parent link:IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск: тезисы докладов. С. 93-95.— , 1996
Main Author: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Other Authors: Дектярев С. В. Сергей Валентинович
Published: 1996
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53811

Similar Items