Технологический источник "Радуга-5" для ионной имплантации, плазменного осаждения покрытий и комбинированной ионно-плазменной обработки материалов
| Parent link: | IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск: тезисы докладов. С. 93-95.— , 1996 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | |
| Vydáno: |
1996
|
| Témata: | |
| Médium: | Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53811 |