Технологический источник "Радуга-5" для ионной имплантации, плазменного осаждения покрытий и комбинированной ионно-плазменной обработки материалов
| Parent link: | IV Всероссийская Конференция по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 13-17 мая 1996 года, г. Томск.— 1996.— С. 93-95 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Andre forfattere: | |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
1996
|
| Fag: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53811 |
| Ingen beskrivelse tilgængelig. |