Эрозия жидкофазной мишени в плазме магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 9
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 50, № 9.— 2007.— С. 487-490 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=536738 |