Эрозия жидкофазной мишени в плазме магнетронного разряда
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 50, № 9.— 2007.— С. 487-490 |
|---|---|
| Glavni avtor: | |
| Drugi avtorji: | , |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2007
|
| Teme: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=536738 |