Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния

Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния

Podrobná bibliografie
Parent link:	Известия вузов. Материалы электронной техники: научно-производственный журнал.— , 1999-.— 1609-3577 № 2.— 2009.— С. 57-61
Hlavní autor:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович
Další autoři:	Гаврилов В. А., Перетокин А. С.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2009
Témata:	труды учёных ТПУ
Médium:	Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=534212

Podobné jednotky

Изучение электропроводности двойных смесей SiCl4 с алифатическими кислородосодержащими соединениями с целью определения микропримесей в SiCl4 высокой чистоты
Autor: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
Vydáno: (1963)

Влияние исходной концентрации SiCl4 на геометрические размеры частиц SiO2 при импульсном плазмохимическом синтезе
Vydáno: (2010)

Исследование влияния начальной концентрации SiCl4 на геометрический размер SiO2 при импульсном плазмохимическом синтезе
Autor: Кочкоров Б. Ш. Болотбек Шакирович
Vydáno: (2010)

Способ получения поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Изучение электропроводности двойных смесей с алифатическими кислородсодержащими соединениями с целью определения микропримесей в SiCl4 высокой чистоты
Autor: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
Vydáno: (1964)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
Autor: Андреев А. А. Артем Андреевич
Vydáno: (2007)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Vydáno: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
Autor: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Vydáno: (2010)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Vydáno: ()

Изучение поведения ультрамикропримесей ряда элементов в неводной смеси SiCl4-н-С3Н7ОН методом амальгамной полярографии с накоплением
Autor: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
Vydáno: (1966)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
Autor: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Vydáno: (2010)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
Vydáno: (2014)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
Autor: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (2013)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
Autor: Цивинская Ю. С.
Vydáno: (2012)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
Autor: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Vydáno: (2009)

Изучение поведения ультрамикроконцентрации сурьмы, висмута и олова в неводной смеси SiCl4 (6,3 мол.%)-н-С3Н7ОН методом амальгамной полярографии с накоплением
Autor: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
Vydáno: (1964)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
Autor: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (2013)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
Autor: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Vydáno: (2011)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния
Autor: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (2012)

Диэлектрические свойства поликристаллического феррита
Autor: Малышев А. В. Андрей Владимирович
Vydáno: (2002)

Флотационное обогащение антрацита в производстве карбида кремния
Autor: Витюгин В. М.
Vydáno: (1964)

Безопасность труда в производстве технического кремния и алюминиево-кремниевых сплавов
Autor: Деев П. З. Петр Захарович
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1987)

Оптимизация в геологоразведочном производстве
Autor: Нескоромных В. В.
Vydáno: (Томск, ТПУ, 2013)

Исследование грануляции шихты в производстве карбида кремния
Autor: Швецов В. В.
Vydáno: (1970)

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]
Autor: Кулинич О. А.
Vydáno: (2003)

Оптимизация в геологоразведочном производстве учебник
Autor: Нескоромных В. В. Вячеслав Васильевич
Vydáno: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Оптимизация в геологоразведочном производстве учебник
Autor: Нескоромных В. В. Вячеслав Васильевич
Vydáno: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Vydáno: (2009)

Радиолиз и накопление кремния в порах керамики, содержащей SiOg
Autor: Белоусов В. М.
Vydáno: (1967)

Оптимизация в геологоразведочном производстве Учебное пособие
Autor: Нескоромных В.В. Вячеслав Васильевич
Vydáno: (Москва, ООО "Научно-издательский центр ИНФРА-М", 2019)

Электрофизические свойства поликристаллического сфалеритного нитрида бора
Vydáno: (1996)

Карбид кремния: рост, свойства, применение бета-SiC и альфа-SiC (6H)
Vydáno: (Ташкент, ФАН, 1977)

О результатах испытания гранулированной шихты в производстве карбида кремния
Autor: Витюгин В. М. Виктор Моисеевич
Vydáno: (1975)

Механохимический метод полирования поликристаллического алмазного покрытия Монография
Autor: Охлупин Д.Н. Дмитрий Николаевич
Vydáno: (Москва, ООО "Научно-издательский центр ИНФРА-М", 2021)