Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния
| Parent link: | Известия вузов. Материалы электронной техники: научно-производственный журнал.— , 1999-.— 1609-3577 № 2.— 2009.— С. 57-61 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=534212 |