Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния; Известия вузов. Материалы электронной техники; № 2

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Известия вузов. Материалы электронной техники: научно-производственный журнал.— , 1999-.— 1609-3577 № 2.— 2009.— С. 57-61
Hovedforfatter:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович
Andre forfattere:	Гаврилов В. А., Перетокин А. С.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2009
Fag:	труды учёных ТПУ
Format:	xMaterials Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=534212

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	534212
005	20231214151952.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\222450
035			\|a RU\TPU\prd\222449
090			\|a 534212
100			\|a 20140910a2009 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния \|f П. М. Гаврилов, В. А. Гаврилов, А. С. Перетокин
320			\|a Библиогр.: с. 61 (7 назв.)
461		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1507 \|x 1609-3577 \|t Известия вузов. Материалы электронной техники \|o научно-производственный журнал \|d 1999-
463		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\70570 \|t № 2 \|v С. 57-61 \|d 2009
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Гаврилов \|b П. М. \|c специалист в области атомной энергетики \|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук \|f 1960- \|g Петр Михайлович \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697 \|9 12771
701		1	\|a Гаврилов \|b В. А.
701		1	\|a Перетокин \|b А. С.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20100427
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20190219 \|g RCR
942			\|c BK