Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния
| Parent link: | Известия вузов. Материалы электронной техники: научно-производственный журнал.— , 1999-.— 1609-3577 № 2.— 2009.— С. 57-61 |
|---|---|
| Príomhchruthaitheoir: | |
| Rannpháirtithe: | , |
| Teanga: | Rúisis |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
2009
|
| Ábhair: | |
| Formáid: | Caibidil leabhair |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=534212 |
| Níl cur síos ar fáil. |