Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния
| Parent link: | Известия вузов. Материалы электронной техники: научно-производственный журнал.— , 1999-.— 1609-3577 № 2.— 2009.— С. 57-61 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Vydáno: |
2009
|
| Témata: | |
| Médium: | Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=534212 |
| Žádný popis. |