APA (7th ed.) Citation

Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Гаврилов В. А., & Перетокин А. С. (2009). Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния; Известия вузов. Материалы электронной техники; № 2. 2009.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Гаврилов В. А., and Перетокин А. С. Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния; Известия вузов. Материалы электронной техники; № 2. 2009, 2009.

MLA (9th ed.) Citation

Гаврилов П. М. Петр Михайлович, et al. Оптимизация обращения SiCl4 в производстве поликристаллического кремния; Известия вузов. Материалы электронной техники; № 2. 2009, 2009.