Лазерные технологии в электронном машиностроении

Лазерные технологии в электронном машиностроении

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Малов К. В.
مؤلفون آخرون:	Шиганов И. Н.
الملخص:	Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обра- ботки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология». Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
منشور في:	Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008
الموضوعات:	лазерный отжиг имплантированных слоев лазерное напыление тонких пленок осаждение пленок из газовой фазы осаждение пленок из растворов лазерное легирование поверхности подстройка электрических параметров пленочных элементов подстройка параметров пленочных резисторов подгонка емкостей пленочных конденсаторов восстановление гибридных интегральных схем функциональная подстройка пленочных схем подстройка параметров кварцевых пьезоэлементов размерная обработка тонких пленок микромаркировка пленочных элементов
الوصول للمادة أونلاين:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52327 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52327.jpg
التنسيق:	الكتروني كتاب

مواد مشابهة

Проектирование гибридных интегральных микросхем учебное пособие
حسب: Гайнуллина Н. Р.
منشور في: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2022)

Лазеры в микроэлектронике
حسب: Малов И. Е.
منشور في: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012)

Основы вакуумных технологий учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
حسب: Орликов Л. Н.
منشور في: (Москва, ТУСУР, 2018)

Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие
حسب: Садова А. Н.
منشور في: (Казань, КНИТУ, 2013)

Интегральные микросхемы
حسب: Сухова В. Ф.
منشور في: (Нижний Новгород, ВГУВТ, 2014)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
حسب: Кузнецов Г. Д.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2008)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Автоматическое слежение за частотой
حسب: Кривицкий Б. Х. Борис Хацкелевич
منشور في: (Москва, Энергия, 1974)

Стандартизация и метрология в приоритетных технологиях учебное пособие
حسب: Хомутова Е. Г.
منشور في: (Москва, РТУ МИРЭА, 2021)

Диэлектрические пленки для ИС
حسب: Саркаров Т. Э.
منشور في: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
حسب: Антоненко С. В.
منشور في: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
حسب: Ершов А. В.
منشور في: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Цифровая система автоматической подстройки частоты генератора СВЧ
حسب: Волков А. В.
منشور في: (2014)

Цифровая система автоматической подстройки частоты генератора мощного свервысокочастотного сигнала
حسب: Волков А. В.
منشور في: (2014)

Структура и физические свойства твердого тела. Лабораторный практикум учебное пособие для студентов инженерно-физических специальностей вузов
منشور في: (Киев, Вища школа, 1983)

Основы технологии электронной компонентной базы: моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов учебно-методическое пособие
حسب: Рабинович О. И.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2012)

Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1
حسب: Орликов Л. Н.
منشور في: (Москва, ТУСУР, 2012)

Устройства приема и обработки телекоммуникационных сигналов учебное пособие
حسب: Поваляева И. В.
منشور في: (Москва, РТУ МИРЭА, 2020)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
حسب: Патрушева Т. Н.
منشور في: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Физика конденсированного состояния учебное пособие
حسب: Кармоков А. М.
منشور في: (Нальчик, КБГУ, 2023)

Импульсные системы фазовой автоподстройки частоты
منشور في: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1982)

Подстроечные конденсаторы
حسب: Добромыслов Е. Р. Евгений Романович
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1983)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
حسب: Боброва Ю. С.
منشور في: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Наноматериалы: Ленгмюровские пленки
حسب: Валянский С. И.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2014)

Технология приборов оптической электроники и фотоники
حسب: Орликов Л. Н.
منشور في: (Москва, ТУСУР, 2012)

Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) методические указания по выполнению лабораторных работ для магистров, с направлением подготовки по специальности 11.04.04 и аспирантов с направлением подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06
حسب: Груздов В. В.
منشور في: (Москва, Техносфера, 2017)

Анизотропное лазерное излучение графитовых пленок
منشور في: (2004)

Системы фазовой автоподстройки частоты
منشور في: (Москва, Связь, 1972)

Синтезаторы частот с системой импульсно-фазовой автоподстройки
حسب: Левин В. А. Виктор Аронович
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1989)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий учеб.-метод. пособие
حسب: Рабинович О. И.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2015)

Автоматическая подстройка частоты
حسب: Капланов М. Р. Мурад Рашидович
منشور في: (Москва, Госэнергоиздат)

Автоматическая подстройка частоты
حسب: Капланов М. Р. Мурад Рашидович
منشور في: (Москва, Госэнергоиздат)

Конструирование одежды из различных материалов
حسب: Фаритова Л. Х.
منشور في: (Тольятти, ПВГУС, 2008)

Стабилизация частоты генераторов СВЧ
حسب: Бычков С. И. Сергей Иванович
منشور في: (Москва, Советское радио, 1962)

Системы фазовой и частотной автоподстройки частоты пер. с англ.
حسب: Клэппер Дж.
منشور في: (Москва, Энергия, 1977)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
حسب: Пархоменко Ю. Н.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2017)

Вып. 19
منشور في: (1980)

Динамика систем межвузовский сборник научных трудов
منشور في: (Горький, Изд-во ГГУ, 1979)

ИК-спектроскопия в анализе полимеров. Лабораторный практикум учебное пособие
حسب: Губин А. С.
منشور في: (Воронеж, ВГУИТ, 2019)