Лазерные технологии в электронном машиностроении
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обра- ботки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология». Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52327 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52327.jpg |
| Format: | Electronic Book |
