Введение в микросистемную технику
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Микросистемная техника» Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52229 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52229.jpg |
| Format: | Electronic Book |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 52229 | ||
| 100 | |a 20250516d2011 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Введение в микросистемную технику |b Электронный ресурс |f Нарайкин О. С.,Потловский К. Г.,Холевин В. В. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МГТУ им. Н.Э. Баумана |d 2011 | ||
| 215 | |a 49 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Микросистемная техника» | ||
| 330 | |a Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника» | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a принципы функционирования | |
| 610 | 0 | |a особенности проектирования | |
| 610 | 0 | |a мэмс | |
| 610 | 0 | |a конструкционные материалы | |
| 610 | 0 | |a термическое окисление | |
| 610 | 0 | |a химическое осаждение из газовой фазы | |
| 610 | 0 | |a физическое осаждение | |
| 610 | 0 | |a термовакуумное испарение и осаждение | |
| 610 | 0 | |a катодное распыление | |
| 610 | 0 | |a электрохимическое осаждение | |
| 610 | 0 | |a технологии микромеханики | |
| 610 | 0 | |a анизотропное жидкостное травление | |
| 610 | 0 | |a сухое травление | |
| 610 | 0 | |a технология поверхностной механики | |
| 610 | 0 | |a ligaтехнология | |
| 610 | 0 | |a соединение пластин | |
| 610 | 0 | |a электроннолучевая литография | |
| 610 | 0 | |a микростереолитография | |
| 610 | 0 | |a датчики и исполнительные устройства | |
| 610 | 0 | |a датчики давления | |
| 610 | 0 | |a акселерометры | |
| 610 | 0 | |a микроприводы | |
| 610 | 0 | |a линейные приводы | |
| 610 | 0 | |a термоприводы | |
| 610 | 0 | |a электродвигатели | |
| 610 | 0 | |a оптические компоненты | |
| 610 | 0 | |a микрофлюидика | |
| 610 | 0 | |a клапаны | |
| 610 | 0 | |a микрореакторы и смесители | |
| 610 | 0 | |a портативные силовые установки | |
| 675 | |a 621.382:53(075.8) | ||
| 686 | |a 32.844.1 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Нарайкин |b О. С. | |
| 701 | 1 | |a Потловский |b К. Г. | |
| 701 | 1 | |a Холевин |b В. В. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52229 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/52229.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/52229.jpg | ||