Введение в микросистемную технику
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Микросистемная техника» Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52229 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52229.jpg |
| Format: | Electronic Book |
