Устройство, принципы работы, применение

Устройство, принципы работы, применение

Bibliographic Details
Parent link:Магнетронные распылительные системы. / Духопельников Д. В.. Ч. 1
Main Author: Духопельников Д. В.
Summary:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Технологические ионно-плазменные установки»
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характери- стики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены фи- зические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основ- ные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
Published: Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
Subjects:
инженерно-технические науки
Online Access:http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52087
https://e.lanbook.com/img/cover/book/52087.jpg
Format: Electronic Book

Similar Items

Similar Items