Устройство, принципы работы, применение
| Parent link: | Магнетронные распылительные системы. / Духопельников Д. В.. Ч. 1 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Summary: | Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Технологические ионно-плазменные установки» Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характери- стики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены фи- зические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основ- ные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС. Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52087 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52087.jpg |
| Format: | Electronic Book |
