Устройство, принципы работы, применение
| Parent link: | Магнетронные распылительные системы. / Духопельников Д. В.. Ч. 1 |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Résumé: | Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Технологические ионно-плазменные установки» Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характери- стики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены фи- зические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основ- ные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС. Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Publié: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52087 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52087.jpg |
| Format: | Électronique Livre |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 52087 | ||
| 010 | |a 978-5-7038-3798-6 | ||
| 100 | |a 20200604d2014 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Устройство, принципы работы, применение |f Духопельников Д. В. |h Ч. 1 | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МГТУ им. Н.Э. Баумана |d 2014 | ||
| 215 | |a 53 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Технологические ионно-плазменные установки» | ||
| 330 | |a Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характери- стики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены фи- зические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основ- ные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки | ||
| 461 | 0 | |1 2001 |a Магнетронные распылительные системы |f Духопельников Д. В. |v Ч. 1 | |
| 610 | 0 | |a инженерно-технические науки | |
| 675 | |a 621.793:537.525(075.8) | ||
| 686 | |a 32.848.4 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Духопельников |b Д. В. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52087 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/52087.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/52087.jpg | ||