|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
508088 |
| 005 |
20250917071653.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\179848
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\160129
|
| 090 |
|
|
|a 508088
|
| 100 |
|
|
|a 20130531a2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы однородного облучения слитков кремния диаметром более 200 мм при нейтронном легировании
|f Н. А. Антропов [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 5 назв.
|
| 330 |
|
|
|a Рассматривается проблема однородности облучения слитков кремния "больших диаметров" тепловыми нейтронами. "Большой диаметр" - это диаметр, соизмеримый с длиной диффузии тепловых нейтронов в кремнии (20 см). Рассмотрено влияние поглощения нейтронов слитком на однородность облучения. Для некоторых часто используемых в практике нейтронного легирования случаев установлена связь между полем тепловых нейтронов в зоне облучения и однородностью облучения. Работа может быть полезна на стадии выбора и проектирования зоны облучения для нейтронного легирования кремния.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\650
|t Известия Российской академии наук. Серия физическая
|f Российская академия наук
|d 1992-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\79550
|t Т. 73, № 11
|v С. 1591-1593
|d 2009
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Антропов
|b Н. А.
|c российский физик
|c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1957-
|g Николай Андреевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25810
|
| 701 |
|
1 |
|a Боярко
|b Е. Ю.
|
| 701 |
|
1 |
|a Горбунов
|b В. К.
|
| 701 |
|
1 |
|a Григорьев
|b К. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Крючков
|b Ю. Ю.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1945-
|g Юрий Юрьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25821
|9 11694
|
| 701 |
|
1 |
|a Черников
|b О. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Чернов
|b И. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1935-2025
|g Иван Петрович
|x TPU
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\12909
|9 3694
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170411
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
