Проблемы однородного облучения слитков кремния диаметром более 200 мм при нейтронном легировании
| Parent link: | Известия Российской академии наук. Серия физическая/ Российская академия наук.— , 1992- Т. 73, № 11.— 2009.— С. 1591-1593 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | Рассматривается проблема однородности облучения слитков кремния "больших диаметров" тепловыми нейтронами. "Большой диаметр" - это диаметр, соизмеримый с длиной диффузии тепловых нейтронов в кремнии (20 см). Рассмотрено влияние поглощения нейтронов слитком на однородность облучения. Для некоторых часто используемых в практике нейтронного легирования случаев установлена связь между полем тепловых нейтронов в зоне облучения и однородностью облучения. Работа может быть полезна на стадии выбора и проектирования зоны облучения для нейтронного легирования кремния. |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=508088 |