Формирование многослойных (TiAl)N/TiN-покрытий на титановых сплавах в условиях интенсивного ионного и электронного ассистирования
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 54, № 11/2 (приложение).— 2011.— С. 121-127 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | Предложен и реализован способ осаждения многослойных (TiAl)N/TiN-покрытий с использованием очищенной от микрокапельной фракции плазмы вакуумно-дугового и магнетронного разрядов в условиях интенсивного ионного и электронного ассистирования. Приведены результаты исследований ряда физико-механических характеристик сформированных многослойных наноструктурированных систем с толщиной отдельных слоев 100-300 нм. Показано, что покрытия характеризуются низким уровнем шероховатости поверхности, высокими твердостью, адгезионной прочностью и износостойкостью |
| Published: |
2011
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=507876 |