Методика определения термического сопротивления контакта диэлектрик - подложка при интенсивных режимах облучения диэлектрика
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 44, № 12.— 2001.— С. 36-43 |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Altri autori: | , |
| Riassunto: | Исследован нагрев диэлектриков при импульсно-периодическом облучении образцов ионным пучком. Решением уравнения теплопроводности являются вынужденные колебания температуры образца относительно среднего значения с частотой следования импульсов облучения. Средняя за период колебаний температура вначале растет, а затем, насыщаясь, приближается к квазистационарному значению6 которое полностью определяется термич. сопротивлением контакта образец - подложка при фиксированных условиях облучения. Предложен метод нахождения средней за период облучения температуры диэлектрика в режиме насыщения, на основе которого построена экспресс-методика определения термич. сопротивления контакта, базирующаяся на импульсно-периодическом нагреве образца ионным или электронным пучком умеренной плотности и прецизионном измерении средней температуры. Определена погрешность экспресс-методики и область ее применимости. При помощи методики расчета термического сопротивления контакта предложен способ нахождения энергии, уходящей на распыление поверхности образца ионным пучком |
| Pubblicazione: |
2001
|
| Soggetti: | |
| Natura: | Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506825 |