|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
506525 |
| 005 |
20240209125131.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\177441
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\176976
|
| 090 |
|
|
|a 506525
|
| 100 |
|
|
|a 20130515a2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения
|f Г. М. Самойленко [и др.]
|
| 330 |
|
|
|a Излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\126661
|t Т. 53, № 10/2 (приложение)
|v С. 146-149
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Самойленко
|b Г. М.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1945-
|g Геннадий Михайлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31785
|
| 701 |
|
1 |
|a Юшков
|b Ю. Г.
|c российский ученый в области электрофизики
|c профессор Томского политехнического университета
|f 1937-
|g Юрий Георгиевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22023
|
| 701 |
|
1 |
|a Чумерин
|b П. Ю.
|c специалист в области криогенной техники
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета
|g Павел Юрьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29832
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|9 12169
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160701
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
