Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)

Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 146-149
Other Authors: Самойленко Г. М. Геннадий Михайлович, Юшков Ю. Г. Юрий Георгиевич, Чумерин П. Ю. Павел Юрьевич, Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:Излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди.
Language:Russian
Published: 2010
Subjects:
труды учёных ТПУ
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506525

Similar Items