|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
506114 |
| 005 |
20240209125058.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\176980
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\176978
|
| 090 |
|
|
|a 506114
|
| 100 |
|
|
|a 20130430a2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (результаты исследования)
|f А. И. Рябчиков [и др.]
|
| 330 |
|
|
|a Представлены эксперим. результаты исследования уменьшения плотности потока микрочастиц вакуумно-дугового разряда в потоке плазмы и на поверхности образца за счет их отражения от потенциального барьера мишени и трансформации размеров, формы микрочастиц, их испарения, отрыва от поверхности при импульсно-периодическом потенциале смещения отрицат. полярности. Установлено, что плотность микрочастиц на поверхности образца определяется амплитудой, длительностью импульса потенциала смещения, временем ионной обработки поверхности образца. Показано, что плотность микрочастиц с размером меньше 1,5 мкм уменьшается в несколько тысяч раз при частоте следования импульсов 10{5} Гц, амплитуде потенциала смещения 2 кВ, длительности импульса 8 мкс и времени облучения 9-18 мин. Общая плотность микрочастиц при этих условиях уменьшается в 67 раз. При времени обработки выше 3 мин наблюдается трансформация формы некоторых мирочастиц из сферической в коническую
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\165427
|t Т. 54, № 11/2 (приложение)
|v C. 131-136
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 701 |
|
1 |
|a Сивин
|b Д. О.
|c специалист в области физики плазмы
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1978-
|g Денис Олегович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26465
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|9 12169
|
| 701 |
|
1 |
|a Ананьин
|b П. С.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1942-
|g Петр Семенович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35527
|
| 701 |
|
1 |
|a Дектярев
|b С. В.
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета
|f 1957-
|g Сергей Валентинович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33803
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160630
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
