Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)

Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)

Podrobná bibliografie
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 54, № 11/2 (приложение).— 2011.— C. 90-93
Další autoři: Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Сивин Д. О. Денис Олегович, Додорин К. Ю. Константин Юрьевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Shrnutí:Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2-0,5 м{3 }с помощью короткоимпульсного (от 1 до 10 мкс) высокочастотного 100 кГц напряжения до 3 кВ. Показано, что несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см{2}. Экспериментально показана возможность осаждения сверхтвердого (45-50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода
Jazyk:ruština
Vydáno: 2011
Témata:
труды учёных ТПУ
Médium: MixedMaterials Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506112

Podobné jednotky

Podobné jednotky