Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 54, № 11/2 (приложение).— 2011.— C. 90-93 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2-0,5 м{3 }с помощью короткоимпульсного (от 1 до 10 мкс) высокочастотного 100 кГц напряжения до 3 кВ. Показано, что несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см{2}. Экспериментально показана возможность осаждения сверхтвердого (45-50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода |
| Published: |
2011
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506112 |