|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
506112 |
| 005 |
20240209124631.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\176978
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\176955
|
| 090 |
|
|
|a 506112
|
| 100 |
|
|
|a 20130430a2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
|f А. И. Рябчиков [и др.]
|
| 330 |
|
|
|a Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2-0,5 м{3 }с помощью короткоимпульсного (от 1 до 10 мкс) высокочастотного 100 кГц напряжения до 3 кВ. Показано, что несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см{2}. Экспериментально показана возможность осаждения сверхтвердого (45-50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\165427
|t Т. 54, № 11/2 (приложение)
|v C. 90-93
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|9 12169
|
| 701 |
|
1 |
|a Сивин
|b Д. О.
|c специалист в области физики плазмы
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1978-
|g Денис Олегович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26465
|
| 701 |
|
1 |
|a Додорин
|b К. Ю.
|c специалист в области ускорительной техники
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1982-
|g Константин Юрьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29639
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160630
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
